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關于鋁銅合金靶材性能,制備方法及其應用介紹

日期:2022-07-24 瀏覽:86

鋁銅合金靶材

鋁銅靶材很堅硬,熔點是640℃,一般是1~3%的銅組成,跟金屬鋁的化學性質相似,輕而抗張強度大。鋁銅的主要性能特點是室溫和高溫力學性能高,鑄造工藝簡單,切削加工性能好,耐熱性能優良。鋁銅合金靶材在集成電路制造中具有重要作用。


鋁銅靶材特征

鋁銅靶材形狀:平面靶、異型定制

鋁銅靶材純度:3N,4N,5N

鋁銅靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供鋁銅合金塊、鋁銅合金板、鋁銅合金棒等


鋁銅合金靶材制備工藝

將銅含量為0.1-3wt%的鋁銅靶坯進行預熱,預熱的溫度為750-850℃,預熱的時間為5-30min;

將預熱好的鋁銅靶坯進行3次三向鍛造,第一鍛造,鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,鍛造后的鋁銅靶坯沿x軸方向拔長至第一鍛造前的長度;第二鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,第二鍛造后的鋁銅靶坯沿y軸方向拔長至第二鍛造前的長度;第三鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,第三鍛造后的靶坯沿z軸方向拔長至第三鍛造前的長度,且x軸方向、y軸方向和z軸方向中的任意兩個方向相互垂直,三向鍛造的鍛造比為1.5-2.5;

而后,進行熱處理,熱處理的溫度為300-400℃,處理的時間為30-90min。水冷后,在溫度為10-30℃進行冷壓,控制冷壓變形量為30-50%;

然后在10-30℃進行冷軋,冷軋時,每道次的下壓量為10-20mm,冷軋控制變形量為60-85%;

后校平,經機加工,得到鋁銅合金靶材。

該方法制備的鋁銅靶材,品粒分布均勻、晶粒尺寸≤100um,同時簡化了工藝流程,縮短了加工周期,提高了生產效率。


鋁銅合金靶材成分表

上圖是鋁銅合金靶材的材質單

鋁銅合金靶材應用

鋁銅合金靶材主要用于集成電路、太陽能電池、平板顯示等領域。

在集成電路領域,它被用于制作互連線和布線,以提高電路的性能和可靠性;

在太陽能電池領域,它被用于制作電極和背電極,以提高電池的效率和壽命;

在平板顯示領域,它被用于制作薄膜晶體管和光電器件,以提高顯示的亮度和分辨率。


鋁銅合金其他應用

航空航天領域:由于其密度低、導熱性能好、強度高且具有良好的抗腐蝕性,鋁銅合金常用于制造航空器的結構件,如機翼、機身和尾翼。此外,也可用于制造渦輪葉片、渦輪機殼和噴氣發動機的排氣系統等關鍵部件。

汽車制造領域:鋁銅合金在汽車行業中用于制造汽車零部件,以減輕車輛重量,提高燃油效率和性能。

電力及電子領域:作為優質的導電材料,鋁銅合金被廣泛應用于高速電纜、導線和電路板的生產。在電子元器件制造中,鋁銅合金也用于芯片散熱器和封裝材料等。

建筑裝飾領域:鋁銅合金因其美觀和耐用的特性,也可用于建筑裝飾面板等應用。


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